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日本MEG對齊單元

  • 產(chǎn)品型號:X9113-M
  • 更新時間:2025-06-09

簡要描述:日本MEG對齊單元X9113-M是一款高精度光學(xué)對齊單元(Alignment Unit),主要用于半導(dǎo)體設(shè)備、液晶面板制造、精密測量系統(tǒng)等工業(yè)領(lǐng)域,確保光學(xué)元件或機械部件的精準定位與校準。
采用精密機械結(jié)構(gòu),支持微米級(μm)甚至納米級(nm)的位置調(diào)整,適用于對光路或機械組件的高靈敏度對齊需求。

產(chǎn)品詳情

深圳納加霍里科技專業(yè)代理銷售日本MEG對齊單元X9113-M 產(chǎn)品特點如下:

日本MEG對齊單元X9113-M 是一款高精度光學(xué)對齊單元(Alignment Unit),主要用于半導(dǎo)體設(shè)備、液晶面板制造、精密測量系統(tǒng)等工業(yè)領(lǐng)域,確保光學(xué)元件或機械部件的精準定位與校準。

小型緩沖類型主體□30mm濃縮緩沖必要的功能,緊湊節(jié)省空間,高速運行,備有帶馬達型號、外部驅(qū)動型號,此外,還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等。

備有本體安裝部形狀、指狀物形狀、驅(qū)動方式等多種種類。

小型類型的基本機構(gòu)原封不動,實體從上側(cè)用M3螺絲能安裝的模型,小型A型還備有可實現(xiàn)閉環(huán)控制的α STEP馬達型號。

在狹小空間也能發(fā)揮高精度定位的定位單元和開發(fā)的小型對準單元,控制身體寬度的苦心設(shè)計,即使在小沖程輸送的狹小空間內(nèi)也能實現(xiàn)精確的工件定位。

小型指狀物配置于機身頂部,本體安裝,利用本體背面的M2抽頭。

小型A型I指狀物配置在機身上面,主體安裝從主體上面用M3螺絲擰緊,還準備了實現(xiàn)閉環(huán)的STEP 。

小型AP型I被配置在實體側(cè)面,實體安裝從實體上面用M3螺絲擰緊,還準備了可實現(xiàn)閉環(huán)的 STEP馬達。

核心特點

1.高精度調(diào)整

采用精密機械結(jié)構(gòu),支持微米級(μm)甚至納米級(nm)的位置調(diào)整,適用于對光路或機械組件的高靈敏度對齊需求。

2.多自由度調(diào)節(jié)

通常配備XYZ三軸線性平移臺,部分型號可能集成旋轉(zhuǎn)(θx/θy/θz)調(diào)節(jié)功能,滿足復(fù)雜對齊場景。

3.穩(wěn)定性與剛性

材料采用高強度鋁合金或不銹鋼,結(jié)構(gòu)設(shè)計優(yōu)化,確保長時間使用無漂移,抗振動干擾。

4.兼容性

可適配多種光學(xué)元件(透鏡、反射鏡、激光器等)或傳感器,接口設(shè)計靈活,便于集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中。

5.環(huán)境適應(yīng)性

部分型號支持真空或潔凈室環(huán)境,適用于半導(dǎo)體和FPD(平板顯示)制造工藝。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體設(shè)備:光刻機、檢測設(shè)備的鏡頭校準。

激光加工:激光束路徑的精確對準。

光學(xué)實驗:科研級光學(xué)平臺的組件調(diào)整。

自動化檢測:CCD相機、傳感器的位置校準。

選型與規(guī)格

行程范圍:XYZ軸典型行程±5mm~±10mm(可定制)。

分辨率:手動調(diào)節(jié)可達0.1μm,電動驅(qū)動型號精度更高。

負載能力:約1~5kg(具體取決于設(shè)計)。

驅(qū)動方式:手動微調(diào)旋鈕、電動馬達(可選)。

日本MEG對齊單元


規(guī)格

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